單晶拉制作業(yè)指導書

　　一、取單晶準備

　　1、準備好線手套、耐高溫手套、無塵紙；

　　2、準備好鋼絲鉗、取單晶的小車；

　　3、用沾酒精的無塵紙將爐體從上到下擦拭干凈，并保持整潔；

　　二、拆爐取單晶

　　1、待單晶冷卻4小時后，關閉Ar氣，然后提升單晶至副室，從副室觀察窗確認單晶升至所需高度；

　　2、待爐內(nèi)壓力到達極限真空后，先關閉主泵球閥后關閉真空泵電源，然后進行檢漏；

　　3、若無異常，擰開小副室門四個螺栓，打開副室氬氣閥門，查看副室壓力表指針到0位和副室小門可以被打開時，才可以升晶棒到副室腔內(nèi)并高于副室門，蓋上隔離閥，打開液壓泵電源，升起副室；

　　4、把取單晶的小車放在副室爐筒正下方，準備接單晶；

　　5、穩(wěn)定單晶，移開安全接盤，按下晶快降，將單晶降入取晶小車內(nèi)；

　　6、確認單晶完全放入小車內(nèi)后，戴上手套，抓緊重錘，用鋼絲鉗將籽晶從細徑處剪斷，然后穩(wěn)定重錘，將籽晶從重錘上取下，再將重錘升至副室內(nèi)；

　　三、導流筒.保溫蓋.鍋底料的取出

　　1、準備好不銹鋼小車和取導流筒掛鉤（堝桿扳手）；

　　2、戴好手套及耐高溫手套；

　　3、按順序取出導流筒和保溫蓋；

　　4、取出的石墨件要放在不銹鋼臺車上；

　　1、戴好耐高溫手套和準備好鉗子；

　　2、用鉗子夾住石英堝的上端部分提起，使其松動；

　　3、戴好耐高溫手套將石英坩堝取出，若石英坩堝和堝底料能全部帶出直接放入不銹鋼小車上；若不能則將石英坩堝硅料放到車間指定的區(qū)域，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出，若出現(xiàn)整爐報廢等意外情況則，用耐高溫手套直接將石英堝體和硅料一并取出；

　　四、清理大罐

　　1、準備好毛刷、吸管、專用工具；

　　2、帶好手套、防塵口罩；

　　1、用專用工具大罐蓋螺栓，取出罐蓋和過濾網(wǎng)；

　　2、用毛刷和吸塵器仔細清掃過濾網(wǎng)及大罐內(nèi)的氧化物；

　　3、將清掃后的過濾網(wǎng)緩慢放進大罐；

　　4、用刷子和吸塵器清掃罐蓋；

　　5、用沾酒精的紙擦拭罐蓋和密封部件；

　　6、蓋好大罐蓋并用專用工具擰緊螺栓；

　　五、管道爐蓋的清理

　　1、帶口罩、手套；

　　2、準備好防塵口罩、無塵紙、酒精、清掃用的氬氣、研磨布、毛刷、吸塵器管等清掃所需物品；

　　1、用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管道內(nèi)的揮發(fā)物徹底吸盡；

　　2、安裝管道蓋時，一定要檢查密封圈是否完好、潔凈，擰緊螺絲時一定要對角擰緊，以防抽空時漏氣。

　　六、小付室的清掃

　　1、打開副爐室門；

　　2、用沾有酒精的無塵紙擦拭小付室的附著物；

　　七、石墨件的清理

　　1、準備好清掃用品（毛刷、無塵紙、氬氣、吸塵器管、研磨布、除硅點的專有工具、放石墨件的潔凈小車等）帶好手套、防塵口罩；

　　2、依次用毛刷、吸塵器、無塵紙、清掃石墨件，直至確認無污物；爐內(nèi)的清理

　　1、準備好毛刷、吸塵器和專用工具；

　　2、用專用工具仔細地疏通廢氣孔，用吸管吸凈爐筒和保溫材料及加熱器上沿拆爐時落掉的殘渣；

　　3、用毛刷和吸管仔細用力清掃保溫筒，加熱器所能觸及到的部位；

　　八、 安裝石墨件

　　1、依次安裝石墨件 堝桿.堝托.三瓣堝.安裝石英堝

　　1、 打開石英坩堝包裝，對光檢查石英坩堝的內(nèi)壁有無裂紋、污物、氣泡和黑點；

　　2、 若無異常，用氬氣對石英坩堝做認真仔細的整體吹掃，吹凈浮塵；

　　3、 在爐內(nèi)的石墨堝上裝好石英坩堝；裝料

　　1、 將母合金放入石英坩堝內(nèi)；

　　2、 在堝底平鋪小型硅料，然后將大型硅料放在上面；

　　3、 在大型硅料之間的間隙里填充小型硅料；

　　4、 在大塊硅料裝完后，再裝中型硅料；

　　5、 在裝料到石英坩堝最上層時，中型硅塊料靠坩堝壁盡量以點接觸，避免面接觸，造成掛邊；

　　6、 最后將硅料堆成錐形狀，有利于放導流筒；

　　安裝導流筒及保溫蓋

　　1、 裝料完成后堝轉為2/RPM左右旋轉，查看坩堝旋轉情況；

　　2、 清掃周邊（堝上部、加熱器上部、保溫材料上部、爐蓋接合部）用干凈吸塵器吸凈灰塵及硅渣；

　　3、 確認無摩擦快速將堝降至下限，堝降到位后，停止堝轉，裝好保溫蓋、導流筒；爐蓋的清掃

　　1、 用沾有酒精的無塵紙擦拭爐蓋接合部、爐筒的接合部的封密圈并檢查，確認無問題后，將爐蓋旋轉至爐筒上部；打開液壓泵電源，按爐蓋降按鈕下爐蓋副室的清掃

　　1、 準備好清掃棒、無塵紙、酒精、氬氣；

　　2、 在清掃棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清掃副室內(nèi)部至上部；

　　3、 用清掃棒吹掃副室內(nèi)部至上部，直至確認無污物；

　　4、 用沾有酒精的無塵紙認真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氬氣認真吹凈；

　　5、 按晶快升升起重錘至適當位置，用沾有酒精的無塵紙擦拭副室下部的接合部和爐蓋上部的接合部，轉動副室，降下與爐蓋合爐；安裝籽晶

　　1、 用沾有酒精的無塵紙認真擦拭籽晶，并用氬氣吹凈；

　　2、 把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷；

　　3、 用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后，按晶快升使其上至適當位置，關閉副室小門，開始抽空；

　　抽空

　　1. 打開真空泵電源；

　　2. 緩慢打開球閥；

　　3. 抽空后爐內(nèi)力達＜20Pa時，進行反復充氬氣，使爐內(nèi)壓力＜10Pa；

　　4. 關閉真空球閥，進行冷檢漏3分鐘，看漏率是否小于1Pa；

　　加熱化料

　　1、 抽空完成后，漏率達到要求后，打開真空球閥，打開氬氣閥門，設定流量為20升/

　　分，使爐內(nèi)壓力達到1000Pa左右；

　　2、 確認單晶爐進水、出水開關打開，并檢查各進水分支開關已打開；

　　3、 打開加熱電源開關；

　　4、 根據(jù)通過歐陸手動狀態(tài)的OP功能每半小時，分步增加功率；(10、30、70、90KW)  引晶溫度調試

　　1、溫度切入自動后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗能看到的位置；

　　2、20分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至距液面20mm處預熱20分鐘；

　　3、降籽晶使之與液面接觸，晶轉設定為8 轉/分，熔接10分鐘，根據(jù)接觸光圈的形狀（光

　　圈圓合適，方不合適溫度低），確定引頸溫度是否合適，若合適開始引頸，若不合適，通過歐陸調整溫度20分鐘后開始引頸，溫度不宜偏低；

　　引晶

　　1、 打開晶升電源，計長清零；給定堝轉至7 轉/分.；

　　2、 緩慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，讓拉速保持在

　　1.5mm/min----6mm/min之間，引頸直接控制在3mm左右，引頸長度不低于150mm.；

　　3、 引晶過程中若溫度不適，可進行手到調節(jié)溫度，但不宜過大；

　　放肩

　　1、引頸達到預定的長度后，緩慢降低拉速直至0.7mm/min進行放肩；

　　2、放肩務必要放平肩，放肩時用溫校速率來調節(jié)溫度；

　　轉肩

　　1、 將肩放到適當直徑時，將拉速緩慢提高；

　　2、 密切關注單晶的生長速度，適當增減拉速；

　　3、 待單晶生長到目標直徑時緩慢降低拉速，同時適當給定堝跟隨動；

　　轉肩結束后，計長清零，實時觀察單晶生長情況待其生長穩(wěn)定后，調整伊爾根，使其壓單晶光圈1/3—1/2之間的位置，數(shù)字信號大小為350-450左右；

　　4、 調整好拉速和溫度，將計算機切入等徑控制和溫度控制自動狀態(tài)。

　　等徑

　　1、計算機切入自動控制后認真作好各項記錄；

　　2、等徑過程中應時常觀察爐內(nèi)單晶生長情況，每隔15分鐘對爐內(nèi)巡視一次，確定有無異常，每一個小時做一次拉晶記錄；

　　收尾

　　1、當晶體長達到達預定長度或堝內(nèi)剩料少時，等徑和溫度自控手動退出，慢慢的降堝跟停止堝升進行收尾；

　　2、要經(jīng)常檢看收尾情況，對拉速和溫度做適當調整；

　　3、收尾長度應為晶體直徑的大小，收成尖尾后使單晶脫離液面，轉入晶體冷卻工序；

　　4、單晶脫離液面時，按堝降快速，使之脫離

　　停加熱

　　1、收尾完成后，按下堝快降鍵，下降20mm后確認堝快降停止，不成晶時下降30mm.；

　　2、晶升拉速調整到1.0mm/min，使單晶自動上升；

　　3、歐陸歸0；

　　4、調整計算機各參數(shù)，使之恢復初始狀態(tài)

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